ด้วยการพัฒนาอย่างรวดเร็วของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ข้อกำหนดสำหรับอุปกรณ์และกระบวนการผลิตจะสูงขึ้นเรื่อย ๆ ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีการใช้ท่อและท่อจำนวนมากในการขนส่งก๊าซของเหลวและสารเคมีต่างๆ ท่อ Polytetrafluoroethylene (PTFE) ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากคุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์
1. ข้อได้เปรียบด้านประสิทธิภาพของท่อโพลีเทตราฟลูออโรเอทิลีน
1. ความต้านทานอุณหภูมิสูง
ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องใช้กระบวนการในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูง ท่อ PTFE มีความต้านทานอุณหภูมิสูงที่ดีเยี่ยมและสามารถใช้เป็นเวลานานในช่วงอุณหภูมิ -60 ° C ถึง 250 ° C โดยไม่ต้องเสียรูปหรือความเสียหาย
2. ความต้านทานการกัดกร่อน
ในระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จะใช้ก๊าซและสารเคมีกัดกร่อนที่หลากหลาย ท่อ PTFE มีความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยมและทนต่อก๊าซและสารเคมีกัดกร่อนส่วนใหญ่โดยไม่มีปฏิกิริยาทางเคมีหรือการกัดกร่อน
3. ค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำ
ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องขนส่งของเหลวความเร็วสูงและความแม่นยำสูง ท่อ PTFE มีค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำซึ่งสามารถลดการสูญเสียแรงเสียดทานของของเหลวและปรับปรุงประสิทธิภาพการส่งผ่าน ในเวลาเดียวกันท่อ PTFE ยังมีคุณสมบัติต่อต้านการยึดเกาะที่ยอดเยี่ยมซึ่งสามารถป้องกันของเหลวจากการยึดติดและสะสมในท่อทำให้มั่นใจได้ถึงความสะอาดและความราบรื่นของท่อ
4. ความโปร่งใสสูง
ในระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จะต้องมีการตรวจสอบและควบคุมของเหลวแบบเรียลไทม์ ท่อ PTFE มีความโปร่งใสสูงทำให้ง่ายต่อการสังเกตสถานะการไหลและการเปลี่ยนแปลงคุณภาพของของเหลว
2. การประยุกต์ใช้ท่อ PTFE ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
1. การขนส่งก๊าซ
ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จะต้องใช้ก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงจำนวนมากเช่นไนโตรเจนออกซิเจนอาร์กอน ฯลฯ จำเป็นต้องใช้ ท่อ PTFE มีคุณสมบัติการส่งก๊าซที่ยอดเยี่ยมและสามารถมั่นใจได้ว่าความบริสุทธิ์ของก๊าซและประสิทธิภาพการส่งผ่าน
2. การขนส่งของเหลว
ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีการใช้สารเคมีเหลวจำนวนมากเช่น photoresist, ของเหลวทำความสะอาด, ของเหลวแกะสลัก ฯลฯ ท่อ PTFE มีคุณสมบัติการส่งผ่านของเหลวที่ยอดเยี่ยมและสามารถมั่นใจได้ว่าคุณภาพของของเหลวและประสิทธิภาพการส่งผ่าน
3. ระบบสูญญากาศ
ในระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ระบบสูญญากาศจะต้องรักษาความสะอาดของสภาพแวดล้อมการผลิต ท่อ PTFE มีประสิทธิภาพการปิดผนึกสูญญากาศที่ยอดเยี่ยมและสามารถมั่นใจได้ว่าการปิดผนึกและความเสถียรของระบบสูญญากาศ
4. สภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูง
ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จะต้องใช้กระบวนการในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงเช่นการเกิดออกซิเดชันความร้อนการแพร่กระจายความร้อน ฯลฯ ท่อ PTFE มีความต้านทานอุณหภูมิสูงที่ยอดเยี่ยมและสามารถใช้ในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงเป็นเวลานาน
3. บทสรุป
ท่อ PTFE มีโอกาสในการใช้งานที่กว้างขวางในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยมทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับท่อและท่อต่างๆในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
